XDV®シリーズそれぞれの特長
XDV®シリーズのハイパフォーマンスモデルをご覧ください。それぞれの概要一覧は以下のとおりです。
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XDV®SDD
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XDV®-µ
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XDV®-µ LD
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|---|---|---|---|
| 使用目的 | 0.05µm以下の薄膜測定や微量元素の分析 | 非常に小さな構造部分や平坦なコンポーネント、複雑な多層膜の測定 | 非常に小さな構造部分や平坦なコンポーネント、複雑な多層膜の測定 |
| アプリケーション例 | 金、NiP分析、微量分析（RoHS指令対応） | リードフレーム、ボンディングワイヤ、SMDコンポーネント、はんだバンプ、ENIG / ENEPIG | コネクター、ストリップ・ピンコネクター、実装されたプリント回路基板 |
| 最小の測定スポット | 0.2 5mm | 20 µm / 10 µm | ⌀ 60 µm |
| 測定距離 | 0 mm〜80 mm | 4 mm〜5 mm / 1.5 mm〜2 mm | 少なくとも 12 mm |
| 最大サンプル高さ | 140 mm | 135 mm | 135 mm |
| コリメーター | 4種類切替可能 | - | - |
| ポリキャピラリー | - | 20 µm non halo-free （オプション：10µmまたは20µm halo-free） | 60 µmロングディスタンス用ポリキャピラリー |
| 一次フィルター | 6種類切替可能 | 4種類切替可能 | 4種類切替可能 |
| 検出器 | 50 mm²のシリコンドリフト検出器 | 20 mm²のシリコンドリフト検出器。 （50 mm²オプション） | 50 mm²のシリコンドリフト検出器。 (20mm²オプション) |
| X線管 | タングステンターゲット、マイクロフォーカスチューブ | タングステンターゲット、マイクロフォーカスチューブ （オプション：モリブデンターゲット） | タングステンターゲット、マイクロフォーカスチューブ （オプション：モリブデンターゲット） |
| サンプルステージサイズ | 370 mm x 320 mm | 370 mm x 320 mm (オプション：620 mm x 530 mm) | 370 mm x 320 mm (オプション：620 mm x 530 mm) |
| 放射線認証機器 | 型式認証を得た完全な保護装置 | ドイツの放射線防護法に準拠した完全な保護装置 | ドイツの放射線防護法に準拠した完全な保護装置 |
| 規格に準拠 | DIN ISO 3497、 ASTM B 568 | DIN ISO 3497、 ASTM B 568、 IPC-4552-A/B、 IPC-4556 | DIN ISO 3497、 ASTM B 568、 IPC-4552-A/B、 IPC-4556 |
